有机薄膜太阳能电池沉积设备

有机薄膜太阳能电池沉积设备

设备用途

适用于制备金属单质薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等,可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作,也可用于大批量生产前的试验工作。

设备组成

该设备主要由有机/金属源蒸发沉积室、真空排气系统、真空测量系统、蒸发源、样品加热控温、电控系统、配气系统等部分组成。

技术指标

主真空室方型真空室,尺寸400×400×400mm
真空系统配置分子泵、机械泵、闸板阀
极限压力≤6x10-5Pa
恢复真空时间40分钟可达到9x10-4Pa(短时间暴露大气并充入干燥氮气后开始抽气)
基片加热台样品尺寸120×120mm,一片
运动方式基片可上下升降,运动范围0~50mm
基片可连续回转,转速5~30转/分
加热基片加热最高温度300℃
基片到蒸发源距离:250mm-300mm
有机蒸发源坩埚坩埚容量:≥2cc
温度室温--500℃,连续可调
功率电流300A,最大输出功率3Kw
水冷电极4根,组成2个蒸发舟
石英晶体膜厚控制仪检测膜厚显示范围:0--99μ9999Àº
占地面积主机2450×1250mm2(独立机架(770×600 mm2),尺寸大小同手套箱(1830×750mm2)配合)
电控柜700×700mm2(一个)
可为用户量身定制非标准产品