PECVD等离子增强化学气相淀积

PECVD等离子增强化学气相淀积

PECVD等离子增强化学气相淀积设备

  • 用工控机对工艺时间,温度,气体流量,阀门动作,反应室压力实现全自动化控制。
  • 采用进口压力控制系统,闭环系统,稳定性高。
  • 采用进口耐腐蚀不锈钢管件、阀门,确保气路气密性。
  • 具有完善的报警功能及安全互锁装置。
  • 具有超高温报警及欠温报警,MFC报警,反应室压力报警,RF报警,高压空气压力报警,N2压力报警,流报警。
  • 现有的PECVD改造升级后具有生长SiO2薄膜的功能,解决了电池组件PID问题。同时可生长SiNxOy薄膜(背面钝化工艺),可极大地提高电池的转换效率。
  • 该系统可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能

类型

  • 装片数量:384片/舟(125*125) 336片/舟(156*156)
  • 净化台洁净度:100级(10000级厂房)
  • 自动化程度:自动控制温度及工艺过程。
  • 送取片方式:软着陆式,其特点平稳可靠、无爬行、定位准确、承重量大,使用寿命长。

技术指标

每管最大装片量384片/舟(125*125) 336片/舟(156*156)
工艺指标片内±3%,片间±3%,批间±3%
工作温度200~500℃
温区精度及长度(静态闭管测试)1200mm±1℃
气体流量精度±1%FS
气路系统气密性1×10-7Pa.m³/S
控制全进口自动压力闭环调节系统,精准控制反应真空;40KHz 高频电源;工艺舟软着陆;全数字式控制,完善安全的过程控制保护。
1管、2管、3管、4管分别可选;自动装载机械手可选,设备性能、工艺性能可与进口设备媲美。