LED专用设备

LED合金炉

LED合金炉特点

  • 关键件全部采用进口件,具有高可靠性
  • 具有可编程的升、降温功能
  • 具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能
  • 具有高抗干扰能力
  • 具有多种工艺管路,可供用户随意灵活配置
  • 可为您提供斜滚式推拉舟系统,石英双杆推拉舟系统及SiC浆推拉舟系统

主要性能指标

可配工艺管外径2-8英寸
可配工艺管数量1-4管/台
工作温度范围300-1290℃
恒温区长度及精度800℃<工作温度<1290℃;±0.5℃
600℃≤工作温度≤800℃:±1℃
单点温度稳定性800℃<工作温度<1290℃:±0.5℃/24h
600℃≤工作温度≤800℃:±0.5℃/24h
最大可控升温速度16℃/min
最大降温速度5℃/min
气体流量精度±0.5%FS
气路系统气密性1×10-7 Pa.m3 /s