加热炉体

加热炉体

设备用途

加热炉体主要用做半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与荷兰TEMPRESS,美国TYAN,美国THERMCO,荷兰ASM,英国BTU等国外多种型号扩散炉配套(替代进口),采用国外先进的加工工艺,选用进口材料,可处理2~8英寸硅片的扩散工作。

产品性能及特点

具有使用寿命长、温区稳定、结构合理、性能可靠等特点,并可根据用户要求定做。