FHL-600型硬碳膜制备设备

FHL-600型硬碳膜制备设备

设备用途

单室立式结构的高真空镀膜设备,可用于开发单层膜—类金刚石膜(DLC)等。类金刚石膜具有红外光谱透过率高、硬度高、摩擦系数小、化学稳定性好等优点,可以作为多种光学材料的增透率和保护膜,起到抗磨损、抗腐蚀、抗潮解和抗氧化的作用。适用于批量生产红外透镜的军工及光学镜片厂家。

设备组成

主要由镀膜室、靶电极、射频电源、电磁线圈及控制电源、泵抽系统、真空测量系统、电控系统、气路系统、水路系统等组成。

技术指标

型号 FHL-600
溅射真空室 筒形立式,尺寸Ф600×400mm
溅射室极限真空 5×10-4Pa(经烘烤除气后)
真空系统配置 分子泵、机械泵、闸板阀
恢复真空时间 40分钟可达3×10-3Pa(短时间暴露大气并充入干燥氮气后开始抽气)
靶电极及上极板结构 在镀膜室的底盘上安装一个靶电极,上面可安放一块样品,样品尺寸为Φ251mm。在上盖上安装一套上极板,靶电极与上极板之间的距离连续可调构成平板电容
电控系统 射频电源、励磁电源、总控制电源等
气路系统 采用三路MFC质量流量计控制器进气
占地面积 主机 1200×1150mm2
电控柜 700×700mm2(两个)