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太阳能系列

连续式HIT太阳能异质结电池HFCVD设备

连续式HIT太阳能异质结电池HFCVD设备

详细介绍

连续式HIT太阳能异质结电池HFCVD设备



HAC-101型立式双面热丝CVD
概况
南昌大学光伏研究院 与 东莞帕萨电子装备有限责任公司 联合研制。用于非晶硅/晶体硅异质结(HAC)太阳电池研发与制造,
制备本征及掺杂非晶硅薄膜,同时
作为150MW产线设备开发雏形。
(发明专利:ZL201821326540.9,ZL201821326561.0,201821331132.2)




主要优势:
可在不破真空情况下实现硅片双面的i/n、i/p四层薄膜的连续制备;
无绕镀问题;
特殊设计延长热丝寿命;
与现行产线i/n和i/p非晶硅薄膜需分两台装备完成相比,可节省一组unload/load 腔和上下料自动化;
产能扩展空间大。




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