全国服务电话:0769-83030999

科研非标定制设备

高真空排气台

高真空排气台

详细介绍

一、设备用途
  高真空排气台运用于磁控管管芯排气工艺,是磁控管生产的关键设备,磁控管管芯抽真空至高真空(5.0*0-4Pa)通电,
灯丝发热后使得吸附在管芯内的气体进一步释放,将磁控管管芯抽至高真空(优于5.0*0-5Pa),达到管芯排气目的。



二、主要技术参数
1、产能:一次性对50个管芯进行排气(也可定制);
2、生产节拍:约60min每炉;
3、极限真空:优于6.67*10-6Pa
4、系统真空检漏漏率:≤6.67x10-10 Pa.l/S;
5、灯丝电源:输出直流电流0~20A可调,最大功率5.5KW,每台电源对10只管芯供电;
6、阳极电源:输出直流电压0~300V可调,最大功率2.5KW,每台电源对10只管芯供电;
7、配置进口品牌(爱发科)低温泵,抽速:2400L/S


Copyright © 2019 东莞帕萨电子装备有限公司 版权所有 粤ICP备19019149号-1